人工晶体北京市工程实验室设备采购项目（第一包）

时间：2016-05-11 作者：来源：北京市招投标公共服务平台

项目单位：北京中材人工晶体研究院有限公司

招标内容：采购数量：2台AIN晶体生长炉

简要技术要求：

a.有效区：φ120×132（mm）

b.温度：最高温度：2400℃ 工作温度：2200℃~2300℃

c.真空度：冷态极限真空度：优于2×10-4Pa 工作真空度：优于2×10-3Pa

d.压升率＜0.4Pa/h

e.控温精度：±0.1%FS，至少要3个温度控制点。（同时功率分辨率：±3W（控温精度））

f.坩埚上升速率：匀速可调，快升快降速度不低于5cm/min，晶体生长过程慢速控制速度0~300μm/h。坩埚旋转速率：（转速可调，0~30转/分钟。）

g.工作气氛：氮气纯度：≥99.999% 工作压力：随晶体生长工艺的过程有多个恒定的压力控制点且动态可调（生长时100~1000 Torr要保持大的冗余度），控制精度±0.1%；

h.智能控制系统炉腔压力实时显示、可调；超压报警及自动泄压控制（最大压力80%）；加热器功率和温度实时显示，定时采样，显示功率曲线和温度曲线；坩埚上升、旋转速率实时显示、可调等各种生长工艺参数集成控制和显示

i.自循环水冷，冷却循环水温实时显示，水温，水压报警；

j.要求搭建温场(用户可提供模拟温场)，为尽可能减少C、O污染，保温材料要与用户商定。

投标申请人资格要求：

（1）必须是在中华人民共和国境内注册，具有独立法人资格的单位。

（2）注册资本金需在50万（含）以上。

（3）营业执照中所载经营范围包含设备加工、生产或销售相关内容。

（4）具有PVT法AIN或SiC晶体生长炉供货业绩，在设备、人员、资金、安全质量保证及环境保护管理体系等方面，具有圆满完成本项目的能力。

（5）近三年内，在经营活动中没有重大违法记录。

（6）不得与招标人、招标代理机构有任何隶属关系或其他利害关系。

（7）本项目不接受代理商及联合体投标。

投标申请人需提交资料：

（1）投标人的企业法人营业执照副本、税务登记证、组织机构代码、类似业绩合同原件及复印件。注：如提供三证合一的营业执照则不需要提供税务登记证、组织机构代码。

（2）法定代表人授权委托书、身份证原件及复印件并加盖公章。

投标报名时间：2016年5月11日 9:00 至 2016年5月16日 16:00

招标文件购买时间：2016年5月17日 9:00 至 2016年5月23日 16:00

招标文件售价：￥500.00 元整

招标文件购买地点：劲松九区广和南里八条1号1幢

开标时间：2016年6月6日 9:00

开标地点：朝阳区劲松九区广和南里八条1号1幢

备注：无

投标文件提交截止时间：2016年6月6日 8:30 至 2016年6月6日 9:00

招标人联系地址：朝阳区东坝红松园1号院

邮编：100018

联系人：陈老师

联系电话：18911629029

代理机构联系地址：朝阳区劲松九区广和南里八条1号1幢

邮编：100021

联系人：闫钟洋

联系电话：87952068

本项目招标公告以北京市招投标公共服务平台为准。